마일스톤 단신 마일스톤 단신 달성 2019년 EUV 리소그래피 양산 도달 ASML / TSMC — TSMC 7nm+가 ASML의 극자외선 장비를 쓴 첫 대량 양산 노드 — 7nm 이하를 연 도구. 검증된 측정값에서 초안이 자동 생성된 뒤 사람이 확인했습니다. 관련 글 2nm급 양산 시작백사이드 전력공급 양산 도달AI 가속기용 HBM3E 양산첫 GAA(게이트올어라운드) 노드