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ASML

EUV 리소그래피 장비의 사실상 유일한 공급사 — 선단 공정의 핵심 병목.

Veldhoven, Netherlands · 1984 · ASML
마일스톤 단신 2026년 9월 10일

TSMC·삼성, High-NA 채택 확정 — 그리고 그 값을 하게 만들 포토마스크 재설계까지

TSMC와 삼성이 ASML High-NA EUV 스캐너 채택을 확정했다. 삼성 2028년, TSMC 2030년. 선두 파운드리들이 이 장비를 쓸지의 질문이 닫혔다. 인텔은 이미 가동 중이다. 같은 주에 세 회사는 포토마스크를 6인치에서 12인치로 옮기는 ASML 이니셔티브에 합류했고 2031년 파일럿 라인이 목표다 — 현행 마스크 크기가 High-NA 처리량의 약 30%를 잡아먹기 때문이다.